電容薄膜真空計
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摘要
電容薄膜真空計基于彈性薄膜在壓差作用下引發(fā)電容變化的原理，通過(guò)檢測電容變化并轉換為標準信號輸出，實(shí)現高精度真空測量。該產(chǎn)品具備高精度、高穩定性、耐腐蝕、抗干擾強、響應快速等顯著(zhù)特點(diǎn)，測量與氣體成分無(wú)關(guān)，且擁有抗過(guò)載能力強、受環(huán)境影響小等優(yōu)勢。其類(lèi)型多樣，接口與輸出豐富，可快速安裝并實(shí)現智能化控制。產(chǎn)品廣泛應用于半導體、光伏、真空鍍膜等眾多行業(yè)，在關(guān)鍵工藝控制中發(fā)揮重要作用。隨著(zhù)真空技術(shù)發(fā)展，未來(lái)電容薄膜真空計將朝著(zhù)更高精度、更寬量程、智能化、小型化與集成化方向持續演進(jìn)，以滿(mǎn)足各領(lǐng)域不斷升級的真空測量需求。
產(chǎn)品介紹
型號：CX-CFG500 類(lèi)型：薄膜電容真空計
適用氣體：不限氣體種類(lèi) 反應時(shí)間：10ms
測量范圍：10pa ~1.0×10+5 Pa
供電：24 ±5 VDC /0.5A ；整機*大功耗1.0W
防護等級：IP40，IEC529
重量：250g 接口：標準 KF16 法蘭
接觸真空的材料：SS304, SS316L, Kovar 4J50, 燈絲, 饋通玻璃
發(fā)展趨勢
隨著(zhù)真空應用技術(shù)的不斷發(fā)展，對電容薄膜真空計的要求也越來(lái)越高，未來(lái)發(fā)展趨勢包括進(jìn)一步提高測量精度和穩定性、拓展量程范圍、增強智能化功能（如具備自動(dòng)校準、故障診斷、數據存儲和通信等功能）以及小型化、集成化等，以更好地滿(mǎn)足不同領(lǐng)域的應用需求。
產(chǎn)品特點(diǎn)
高精度測量：±0.25%讀數對測量環(huán)境氣體不敏感
抗腐蝕、抗粉塵、抗氧化模擬電壓輸出：0.0～+10.0VDC
RS485 Modbus-RTU數字通訊
2路可設置控制開(kāi)關(guān)
3鍵智能操作
5位LED數字顯示
產(chǎn)品參數
參數 數值
測量范圍 10pa ~ 1.0×10+5 Pa
測量精度 ±0.25 % 讀數
測量重復性 ±0. 1% 全量程
測量分辨率 0.002% 全量程
長(cháng)期穩定性 每年變化不大于滿(mǎn)量程 ±0.5 % （不含環(huán)境變化因素）
溫度補償范圍 -20º C ~ +80º C, ±0.01 %FS/ º C
工作環(huán)境 -10º C ~ +50º C； 5 ~ 85 %,不結露
供電電源 +24V（±20%）/0.5A（適用+5.0VDC至+32VDC）
電接口插座 D-Sub 15 Pin，公
真空腔體 接口：DN16ISO-KF（其他可選）；*大承壓：1.5×10+5 Pa
重量 250g （DN16ISO-KF法蘭）
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品優(yōu)勢
由于陶瓷材料的形變恢復無(wú)遲滯使得陶瓷薄膜電容規獲得高穩定、高精度。
由于氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜電容規具有抗腐蝕、抗氧化能力。
由于采用機械形變傳感真空壓強使得陶瓷薄膜電容規對被測量氣體不敏感特點(diǎn)。
應用場(chǎng)景
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